BOC Edwards chef de file du marché des pompes à vide pour les applications des semi-conducteurs est au premier plan en matière de développements de nouveaux procédés et matériaux. Ces développements comprennent le pompage au point d’utilisation, lorsque les dispositifs de vide sont directement fixés à la chambre de traitement. Le pompage au point d’utilisation réduit les coûts, en éliminant un long procédé d’évacuation de vide et en libérant un espace précieux. |